真空系统设计（数字式热质量流量控制计）

2.2.2数字式热质量流量控制计
数字式热质量流量控制计的特点有:技术强大、功能智能、设计新颖、使用便利、设计紧凑、电池电源、清晰的数字显示以及智能报警。数字式热质量流量控制计测量精确性高、动态量程大,精确度为全量程的±1.0%,调节比1:50;可用电池电源或24VDC;除了真值外,总消耗同样可以被显示,提高了供应系统的透明度;智能报警功能可用于多种用途;带有电池的独立操作提高了精度,可以替代转子流量计。同转子流量计相比,热质量流量控制计对压力和温度变化不灵敏。热质量流量控制计采用最先进的MEMS技术,具有数字(ModbusRTU)接口和模拟接口,适用多种气体,最多可用于10种气体或气体混合物的测量;可利用软件查看流量和温度、更改设定点、选择被测量的气体、显示测量数据的图表、调整控制参数和监控操作状态。控制器有一个密封性好的压电控制阀,泄漏率通常小于10-4Pa·L/sHe;快速控制响应为50ms,大大降低了设定时间。
热质量流量控制计可以安装在空气管道中,并直接读数;用真实气体校准,保证了高精确度和可重复性;多项报警功能,拓展了流量计的功能。例如,可设置限值用于检测泄漏;可配置报警继电器以承受短时的限值超出。