真空泵-工作原理和性能

一、真空泵分类
真空泵分为气体输送泵和气体吸附或捕集泵。气体输送式真空泵可以连续使用，而气体吸附真空泵具有有限的气体吸收能力，并且必须在一定的过程时间间隔进行再生。
气体输送泵，分为容积式真空泵和动量传递式真空泵。容积泵将密封空间中的气体排到大气或下级泵中。动量传递泵通过机械驱动或蒸汽射流在运动方向对气体进行加速来抽出气。气体吸附真空泵通过吸气或在合适温度冷凝气体的方式将气体吸附到特别的活性表面上。吸附泵通过蒸发和/或升华或溅射不断地产生纯净的吸气面。如果要抽出的气体粒子在与吸气面进行相互作用之前在离子泵中被电离了，则它们在溅射清洁吸气面的同时被溅射的材料掩盖。非蒸散型吸气剂(NEG)包括高反应性的合金，其主要由锆或钛组成，并且具有非常大的比表面积。气体可以通过微孔渗透到吸气材料的深层内部，并在那里结合成稳定的化合物。
真空泵分类
二、极限压力与本底压力
极限压力：是在无气体进入的限定条件下由盲板法兰连接的真空泵渐进的最低压力。在极限压力下，泵的抽速将为零，因为只有其自身的返流损失将被抽出。极限压力是理论值。现在用本底压力代替极限压力。获得本底压力的条件在标准ISO21360-1:2012中有规定。由于必须在指定时间内获得本底压力，其通常高于极限压力。
三、气镇
空气或其他非冷凝气体通过某种方式被允许进入真空泵，该方式被称为气镇。如果泵内存在相应温度下无气镇会冷凝的蒸汽，则气镇使出口阀在蒸汽冷凝前打开，且蒸汽与镇流气体一起被排出。大气以及所选惰性气体被用作镇流气体。气镇的使用会略微增加真空泵所能达到的本底压力。因此，对于气镇真空泵，同时规定有气镇和无气镇的本底压力。
四、密封气体
当抽吸腐蚀性气体时，存在气体可能破坏泵部件的风险。为了避免该危险，敏感部件必须用连续的惰性气体流保护起来。因此，泵体内设有特殊的进气系统，凭借该系统，气体在规定的位置流入泵系统。在涡轮分子泵中，主要是轴承和电机舱需要保护。在电机舱中吸入密封气体能够避免侵蚀性气体与润滑剂或轴承中的腐蚀敏感成分发生化学反应以及防止灰尘和粒子进入润滑剂腔、与润滑剂混合。使用密封气体可以保护电机及防止粒子进入和导致轴与紧急轴承接触，也建议免润滑的涡轮分子泵使用
除轴承密封气体外，干式前级泵也有净化气体注入嘴可注入泵内。净化气体流量使用校准喷嘴上游的压力调节器或流量调节器(质量流量控制器或MFC)进行调节，以及通过压力传感器和开关进行监控。